回谱文学

第555章 EUV光刻机？震惊众人！(1/5)

    一位专家瞬间认出了眼前这台光刻机的来历。

    一时之间，他没有注意旁边还有其他人，就惊叫了出来。

    说完这句话，这位教授立马走向眼前这台光刻机。

    而在一旁，其他人也听见了这位教授的声音。

    顺着声音，他们就见教授二话没有说就一个人走了出去。

    其他几位教授注意到了，也跟着往前走去。

    陈敏长官和孟旭互相看了眼，然后又看了眼孙坚。

    只见孙坚伸出手，摆出请的手势。

    三个人也跟着几位教授，来到了这台光刻机前。

    “孟旭，刚才那位教授说的是EUV光刻机对吧？”

    陈敏长官有些不确定自己听见的是否是这样的，所以向孟旭询问道。

    孟旭听后点点头，他确定刚才教授说的是EUV光刻机。

    陈敏听后，倒吸了一口凉气。

    要知道，ASmL最初的EUV光刻机是2010年推出的twINScANNxE:3100。

    当时该机型主要用于研发，其制程可实现14纳米及以下制程。

    这款光刻机数值孔径为0.25，光源功率较弱，最佳状态时只能输出10瓦。

    后续ASmL推出的EUV光刻机在制程能力等方面不断提升，如NxE:3400b系列可对应7纳米制程。

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